3月27日，上海监管局披露显示，中微半导体设备(上海)股份有限公司接受海通证券、长江证券上市辅导。公司拟变更首次公开发行股票上市的板块为上海证券交易所科创板。

据悉，中微半导体主要从事半导体设备的制造、销售业务，公司在等离子刻蚀机、MOCVD(金属有机化合物化学气相沉淀)等方面打破了国外的垄断，在全球可量产的最先进晶圆制造7纳米生产线上，中微半导体是被验证合格、实现销售的全球五大刻蚀设备供应商之一，与泛林、应用材料、东京电子、日立4家美、日企业一起为7纳米芯片生产线供应刻蚀机，并进入到5nm工艺设备研发阶段。

辅导备案情况报告公示，中微半导体成立于2004年5月，法定代表人尹志尧。截至申请提交日，公司无实际控制人，持股5%以上股东包括上海创投、巽鑫投资、南昌智微、置都投资、中微亚洲。此外，A股上市公司中，柘中股份(002346-CN)、绿地控股(600606-CN)、四川双马(000935-CN)、中原高速(600020-CN)、可立克(002782-CN)通过投资基金间接参股中微半导体设备(上海)股份有限公司。