8月2日,据中国国际招标网显示,万业企业(600641.SH)旗下嘉芯闳扬公司和嘉芯迦能公司成功中标上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目10台刻蚀设备。
据上海积塔半导体设备中标结果公告显示,万业企业(600641.SH)旗下嘉芯迦能公司成功中标上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目7台薄膜沉积设备,包括6台高密度等离子薄膜沉积设备(HDP-CVD)和1台二氧化硅等离子薄膜沉积设备(PECVD)。
据上海积塔半导体设备中标结果公告显示,7月19日,万业企业(600641.SH)旗下嘉芯闳扬成功中标上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目快速热处理(RTP)设备。
据国资委网站27日消息,上海科创投集团所属上海集成电路产业投资基金股份有限公司、华大半导体有限公司与上海积塔半导体有限公司增资协议签约仪式近日举行。上海积塔半导体特色工艺生产线项目总投资为359亿元,该项目位于上海浦东新区临港装备产业区,占地面积23万平方米,于去年8月开工,目前基本完成主体工程。
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