3月26日，《深圳市关于推动高端装备产业集群高质量发展的若干措施》提出，突破重大装备技术。围绕晶圆制造装备、面板制造前段制程装备，以及具备战略意义的高档数控机床、精密仪器设备、海洋工程装备等，力争实现“从0到1”的突破，解决尖端技术“卡脖子”问题。实施重大战略性原创性项目攻关计划。围绕薄膜沉积设备、离子注入机、薄膜量测设备等晶圆制造设备；曝光机等面板制造前、中道制程设备；超精密数控车床、铣床、磨床和复合加工机床；高端电子测试仪器、几何量测仪器、科学实验仪器；重大深海采矿装备等整机和核心零部件，开展重大技术装备攻关项目，按比例最高给予3000万元资助。(财联社)
5月8日，万业企业（600641）旗下上海凯世通半导体股份有限公司在上海浦东金桥举行了新研发制造基地的通电暨启用仪式。该新基地的启用是一个重要里程碑，标志着凯世通迈入全新发展阶段，也是凯世通增强关键装备离子注入机研发与产业化能力的重要举措之一，旨在提升研发、客服、产能保障等全方位能力，助力国产高端集成电路装备高质量发展。
4月26日，万业企业（600641）旗下凯世通半导体大束流离子注入机在客户工厂成功举行首台move in仪式。这是凯世通于2022年1月获得国内主流12英寸芯片制造厂订单后，仅用3个月的时间，完成该订单的首批多套设备顺利发货。
2月7日晚间，万业企业（600641）发布出售集成电路设备的公告，公司旗下北京凯世通拟出售多台12英寸集成电路设备，包含低能大束流离子注入机和低能大束流超低温离子注入机，总交易金额约为人民币6.58亿元。
9月1日盘后消息，万业企业（600641.SH）公告，国家集成电路产业投资基金股份有限公司(简称“大基金”)因其自身经营管理需要，拟自披露该减持计划公告日起15个交易日后的6个月内，采取集中竞价交易与大宗交易方式减持股份数量不超过公司股份总数2.1%。截至本公告披露日，大基金持有公司无限售流通股6771.73万股，占公司目前总股本7.07%，位列第三大股东。
8月27日晚间，万业企业（600641）披露2021年半年报。报告期内，公司实现营业收入6.09亿元，同比增长28.25%，其中集成电路设备收入同比增长223%，研发费用同比增长575.23%；实现归属于上市公司股东的净利润2.79亿元，同比增长55.18%；扣非归母净利润1.97亿元，同比增长23.30%。
万业企业2020年实现营收9.31亿元，归母净利润为3.15亿元。报告期内，万业企业持续深化向集成电路装备材料方向转型，控股子公司凯世通离子注入机产品商用化进程取得重要进展，公司还牵头收购Compart Systems，延伸布局集成电路设备产业链，进一步深化公司战略转型。
中国电子科技集团有限公司17日对外公布，该集团旗下装备子集团攻克系列“卡脖子”技术，已成功实现离子注入机全谱系产品国产化，包括中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，工艺段覆盖至28nm，为我国芯片制造产业链补上重要一环，为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。
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